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依次是TOC、SiO2、DO、电阻率，其中电阻率达到18MΩ·cm(25℃)是当前比较容易达到的。由于TOC含量高会使栅氧化膜尤其是薄栅氧化膜中缺陷密度增大，所以栅愈薄要求TOC愈低，况且现在IC技术的发展趋势中，芯片上栅膜越来越薄，故降低TOC是当前和今后的最大难点，因而已成为当今超纯水水质的象征和重心。辽宁净化工程据了解，在美国芯片
长春装修实验室_辽宁乐金建设公司【可老好了】效率较低、易脱附。 ②机械性过滤—HEPA网。HEPA(High efficiency particulate air Filter)，中文意思为高效空气过滤器，达到HEPA标准的过滤网，对于0.3微米的有效率达到99.998%，HEPA网的特点是空气可以通过，但细小的微粒却无法通过。HEPA过滤网由一叠连续前后折叠的亚玻璃纤维膜构成，形成波浪状垫片用来放置和支撑过滤界质。 2、
长春装修实验室_辽宁乐金建设公司【可老好了】的塑料地板或地毯产品，能十分有效抑制由于人的行走产生静电。 3、使用离子风枪、离子头、离子棒等设施，使在一定范围内防止静电产生。 4、辽宁净化工程半导体器件应盛放在防静电塑料盛放器或防静电塑料袋中，这种防静电盛放器有良好导电性能，能有效防止静电的产生。当然，有条件的应盛放在金属盛放器内或用金属箔包装。 5、对于操
时间内即可变成稳定。 缺点：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩充。 2、垂直层流式：房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。 优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。 缺点：构造费
定。这些监控装置可设计成单个系统的测量，控制系统，也可设计成集散式计算机控制和管理系统。净化空调系统在风机停转无风或超温时，电加热器会继续送电加热，造成设备损坏甚至发生火灾，为避免这种情况的出现，应设置无风以及超温断电的保护。电话和火警设备不能少洁净厂房设置电话，对讲电话，可以减少人员在洁净区走动，减少发尘
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