控制室

W 23.6 in，H 66.9 in，D 31.4 in

Chamber：

W 14.1 in，H 5.9 in，D 10.2 in

房间卷

Approx.30 liters

天然气供应

2 Gas channels via MFCS

发生器

清洁剂Tetra-30-LF-PC

技术数据

控制柜：

宽31.5英寸，高23.6英寸，深19.7英寸

腔室：

宽9.4英寸，高5.9英寸，

深9.4英寸

腔室容积：

约30升

供气：

通过MFC的1个气体通道

专用清洁剂Tetra-100-LF-PC

技术数据

控制柜：

宽78.7英寸，高86.6英寸，

深78.7英寸

腔室：

宽27.5英寸，高7.9英寸，

深27.5英寸

腔室容积：

约100升

供气：

通过MFC的3个气体通道

专用清洁剂Tetra-120-LF-PC

技术数据：

控制柜：

宽23.6英寸，高84.6英寸，深39.4英寸

腔室：

宽47.2英寸，高5.9英寸，深66.9英寸

腔室容积：

约120升

供气：

通过MFC的4个气体通道